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| ｜クリーンルーム機器 |
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クリーンブース |
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ＨＥＰＡフィルターおよびファンユニットを天井構造部に取付け、外周部をビニールカーテンで囲んだ無塵無菌ブースです。
集塵効率0.3μｍで99.97％以上に濾過された清浄空気を、垂直層流または乱流式で送り、ビニールカーテンの下部周囲から排気し、内部を陽圧に保ち、クラス100〜10000の清浄度を維持します。
清浄作業室の一部をこう清浄度にする場合、また工程の中の一部を無塵無菌環境下で機器装置の運転を行う場合などに最適な設備です。
クリーンブースには、層流型と乱流型があります。
層流型は、清浄空気が天井面から吹出し、風速0.4ｍ/ｓ以上の層流気流でブース内を通過し、クラス100以下の清浄度を保ちます。
乱流型は、天井面の1ケ所または数ケ所から清浄空気を吹出し、クラス1000〜10000の清浄度を保ちます。 |
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