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| ｜ドラフトチャンバー |
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クリーンドラフト |
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半導体産業、化学工業などの精密エッチングや精密化学分析に必要な高清浄度（クラス100）保持の排気装置です。
作業面をはじめ、流し部、排気系統、チャンバー内壁部、外装など、すべて硬質塩ビ製の耐蝕設計になっています。
発生するガスやミストから作業者を守るため、排気用スリットとパンチング板下面からの2系統による効率的な排気方法を採用しています。
ＰＶＣ（硬質塩ビ）製での製作も行っております。
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クリーンベンチは、クリーンブースと並んで局所清浄装置の代表的な製品です。
クリーンルーム内の特定の部品やライン上を、更に高い清浄度にして使用する際に設置も容易なことからクリーンベンチが広く利用されています。
垂直気流型の他に、水平気流・垂直気流・垂直気流循環型・垂直ライン型・ファン上置き型等ご指定ください。
本体：ステンレス製の製作も行っております。 |
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